EL表示パネルのカラー表示用発光膜の成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266577
公開番号（公開出願番号）：特開平5-108014
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】表示面にカラー表示画素がマトリックス配置されるEL表示パネルの製造工程を合理化しかつカラー表示用発光膜を作り込む際の欠陥画素の発生を減少させる。【構成】同じ表示カラーの画素用の電極膜部分に対応する窓パターンをもつマスク板をパネル面にほぼ接して配設した状態で同じ表示カラーの発光膜部分を窓パターンの位置に選択的にかつ一斉に成膜し、表示カラーの異なる発光膜部分を表示カラーごとに位置をずらせて順次に成膜することにより、発光膜に対するパターンニング工程を省略し、かつ発光膜のウエットエッチング時の吸湿により欠陥画素が発生するのを防止する。

請求項（抜粋）：

表示面内にカラー表示画素がマトリックス配置されるEL表示パネルにカラー表示用の発光膜を成膜する方法であって、同じ表示カラーの画素用の発光膜部分に対応して開口された窓パターンを備えるマスク板をパネル面にほぼ接して配設した状態で同じ表示カラーの発光膜部分を各窓パターンの位置に選択的にかつ一斉に成膜し、表示カラーの異なる発光膜部分を表示カラーごとに位置をずらせて順次に成膜することを特徴とするEL表示パネルのカラー表示用発光膜の成膜方法。

IPC (5件)：

G09F 9/30 365 , C23C 14/04 , C23C 14/34 , H05B 33/10 , H05B 33/22

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-221892
特開平2-066871
特開昭62-043097

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