特許
J-GLOBAL ID：200903077104729043
酸化亜鉛薄膜の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185453
公開番号（公開出願番号）：特開平7-010693
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】 複雑・高価な装置を使用することなく、しかも小さな基板に制限されることなく、酸化亜鉛透明薄膜を経済的に有利に製造する方法及び装置を提供する。【構成】 酸化亜鉛を還元性気体が存在する加熱管の高温加熱域で加熱して昇華させるとともに、加熱管の低温部に設けた開口部を閉塞するように設置した予熱基板上に、酸化亜鉛透明薄膜を形成させることを特徴とする酸化亜鉛透明薄膜の製造方法。ガス導入管とガス排出管を有し、先端が開口する加熱管と、該加熱管の外周面を包囲する環状加熱炉と、該加熱管の先端開口端を密閉する基板と、該基板を包囲する断熱材の包囲体を備えていることを特徴とする酸化亜鉛薄膜製造装置。
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛を還元性気体が存在する加熱管の高温加熱域で加熱して昇華させるとともに、加熱管の低温部に設けた開口部を閉塞するように配置した基板上に、酸化亜鉛透明薄膜を形成させることを特徴とする酸化亜鉛透明薄膜の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/16
, C01G 9/02
, C23C 14/08
, C30B 23/02
