液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130790
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318160
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】オリフィスプレートの液吐出側からのレーザ光の照射によって、液吐出側に先細りのテーパ形状の吐出ノズルを加工する際に、吐出ノズル形状をスパイラル形状に加工して、記録液の液弾を安定して飛翔させることができるようにする吐出ノズル加工方法を提供する。【解決手段】オリフィスプレート2の液吐出側にマスクパターンが形成されたマスクプレート1を密着させ、マスクプレート1側から複数の高エネルギー紫外線平行ビームA,B,C,Dをマスクプレート1の垂直軸に対して同一角度傾いた方向から照射するとともに、密着されたマスクプレート1とオリフィスプレート2を複数の紫外線平行ビームの総合中心軸(光軸)を回転軸として回転させる。これにより、オリフィスプレート2に液吐出側に先細りのテーパ形状でかつスパイラル形状に吐出ノズルを加工することができる。

請求項（抜粋）：

液体噴射記録ヘッドの吐出口が一次元配列で複数個または複数個の配列が複数列形成される吐出口形成プレートの液吐出側に、形成しようとする吐出口の形状がパターニングされたマスクプレートを密着させ、該マスクプレート側から複数の高エネルギー紫外線平行ビームを照射することによって、前記吐出口形成プレートに吐出ノズルを昇華加工形成する液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法において、照射する複数の紫外線平行ビームの総合中心軸(光軸)に対して、密着された前記マスクプレートと前記吐出口形成プレートを前記総合中心軸を回転軸として回転させることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工方法。

Fターム (6件)：

2C057AF24 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AP02 , 2C057AP13 , 2C057AP23

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