走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300687
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133709
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【目的】探針や試料の破損を防止するとともに、試料の三次元凹凸と試料表面の導電性の分布を同時に測定できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】試料1は圧電アクチュエータ2に載置され、その上方に探針部4aを有するカンチレバー4が配置されている。バイアス電圧印加回路3は試料1に電位差VTを供給し、このときの電流信号ITを電流検出回路5が出力する。この電流信号は対数増幅器6でlogITに変換され差動増幅器7に入力される。一方、カンチレバー4の上方には、原子間力による自由端部の変位を検出する変位検出回路12が配置され、その変位信号ZTIPは差動増幅器14に入力される。差動増幅器7と14からの信号はそれぞれアナログスイッチ8のL端子とH端子に入力される。アナログスイッチ8は制御回路10に入力する信号を切り替え、制御回路は入力信号に基づいて信号VZを出力し、アクチュエータ2を制御する。

請求項（抜粋）：

導電性の探針部を先端に設けたカンチレバーと、探針部と試料の間に作用する力によるカンチレバーの変位を検出し、その大きさを示す変位信号を出力するカンチレバー変位検出器と、試料と探針部の間に電位差を与えるバイアス電圧印加手段と、探針部と試料の間に流れる電流を検出し、その大きさを示す電流信号を出力する手段と、カンチレバー変位を一定に保つよう探針部と試料の位置を制御する第一制御手段と、前記電流を一定に保つよう探針部と試料の位置を制御する第二制御手段と、変位信号と前記電流信号に基づいて第一制御手段と第二制御手段のいずれかを選択し起動させる手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡。

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