特許
J-GLOBAL ID：200903077122403309
フッ素化ポリイミドの表面改良方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059380
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：
【要約】【課題】 フッ素化ポリイミド同士の接着性をプロセス加工に必要な程度に向上させる。また、フッ素化ポリイミドと金属膜との接着性をプロセス加工に必要な程度に向上させる。【解決手段】 通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスを25%以下の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することにより、フッ素化ポリイミド同士の層間接着強度を向上させる。また、通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスをほぼ50%の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することにより、フッ素化ポリイミドとTi膜との接着強度を向上させる。
請求項（抜粋）：
通信用有機光学材料として用いるフッ素化ポリイミドを、O2ガスとCF4ガスとの混合ガスで前記CF4ガスを25%以下の混合比とする混合ガスのプラズマによって処理することによりフッ素化ポリイミド同士の層間接着を行うことを特徴とするフッ素化ポリイミドの表面改良方法。
IPC (2件)：
C08G 73/10 NTF
, G02B 6/12
C08G 73/10 NTF
, G02B 6/12 N
