特許
J-GLOBAL ID：200903077123510931
アライメントマーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346733
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182884
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】二つのマーク間の微妙なずれを感覚的に分かりやすくして、マーク合わせを正確に行えるようにすること。【構成】第1アライメントマーク10は横四つ縦二つの八つの正方形11〜18からなり、縦三本の直線隙間19a〜19cと横一本の直線隙間19dとが作られる。第2アライメントマーク20は縦三本の直線帯状部21〜23が横一本の直線帯状部24の長手方向三箇所で交差されている。第1アライメントマーク10の真ん中の直線隙間19bでは対応する直線帯状部22が中央に位置し、両側の直線隙間19a,19cでは対応する直線帯状部21,23が一側に偏って位置しているから、真ん中と両側とで位置ずれの程度を比較すれば、真ん中の直線隙間での直線帯状部の微妙な位置ずれが視覚的に判りやすくなる。
請求項（抜粋）：
複数枚のマスクを用いたホトリソグラフィ技術により半導体基板の表面に回路パターンを形成する過程でのマスク合わせに用いる一対のアライメントマークであって、第1マスクに設けられかつ当該第1マスクを用いて半導体基板の表面に転写される第1アライメントマークと、第2マスクに設けられかつ前記半導体基板上の第1アライメントマークに対して上下に重ね合わされる第2アライメントマークとを組み合わせたもので、前記一方のアライメントマークが、縦横の辺を互いに平行として互いの間に直線隙間を作るように一列に並べられた少なくとも四つの矩形部からなり、前記他方のアライメントマークが、互いに平行となるように並べられた少なくとも三本の直線帯状部からなり、両アライメントマークを重ね合わせた状態では、前記四つの矩形部により作られる三つの直線隙間に前記三つの直線帯状部が位置させられ、かつ、このうち真ん中の直線帯状部のみが真ん中の直線隙間の中央に配置されており、両側の直線帯状部が対応する各直線隙間の一側に偏って配置されている、ことを特徴とするアライメントマーク。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, G03F 9/00
