特許

J-GLOBAL ID：200903077126587978

基板の受け渡し方法及び装置

発明者： 古川 順一 ,  安東 由行
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056440
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261144
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板を垂直の状態で受け渡すにもかかわらず、アームからの基板の落下を防止することにある。【解決手段】 基板12の受け渡し方法及び装置18は、複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔をおいて垂直に収納可能のカセット14とアーム96との間で基板を受け渡す際に、基板の一方の面をアームに吸着させ、基板の少なくとも上部がカセットから突出している状態において落下防止部材102を基板の他方の面の上部が落下防止部材に当接可能におくことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の基板をそれらの厚さ方向に間隔をおいて垂直に収納可能のカセットとアームとの間で基板を受け渡す方法であって、前記基板の一方の面を前記アームに吸着し、前記基板の少なくとも上部が前記カセットから突出している状態において落下防止部材を前記基板の他方の面が前記落下防止部材に当接可能におくことを含む、基板の受け渡し方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/13 101

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 B ,  B25J 15/00 F ,  B25J 15/06 Z ,  B65G 49/06 A ,  G02F 1/13 101

Fターム (36件)：

2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088MA20 ,  3C007AS03 ,  3C007BS02 ,  3C007BT01 ,  3C007CV04 ,  3C007CW05 ,  3C007DS03 ,  3C007ES17 ,  3C007EV05 ,  3C007FS01 ,  3C007FT02 ,  3C007FT11 ,  3C007FU00 ,  3C007FU02 ,  3C007KS03 ,  3C007KV12 ,  3C007KX05 ,  3C007KX19 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  3C007NS17 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031FA18 ,  5F031GA06 ,  5F031GA15 ,  5F031GA24 ,  5F031MA33 ,  5F031PA30