特許
J-GLOBAL ID：200903077133612244
外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225078
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050729
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 被検査対象物のはんだ付け、実装状態を検査し、良品、不良品を判定する。【構成】 本発明は、例えば、被検査対象物として、電子部品の基板実装後におけるはんだ付けと実装の状態を検査する装置に関し、条件に応じて最適に構成した検査対象物を載置するステージ機構を有することを特徴とするもので、方式の異なる2種の判定手段に対して共通に一つの基板を載置する一つのステージ機構を有するか。同じく、それぞれに基板を載置する載置部を設けた一つのステージ機構を有するか。同じく、それぞれに基板を載置するステージ機構を有する。前記2種の方式の異なる抽出手段とは、第1の手段は、形状パタ-ンを抽出する手段で、第2の手段は、形状線抽出手段である。本発明は前記ステージ機構と前記2種の判定手段からの抽出判定結果に基づき前記検査対象物が良品か否かを総合的に判定する信号デ-タ処理手段より構成される。
請求項（抜粋）：
検査対象物の上方に配置した照明手段により前記検査対象物に対して角度を異ならしめて光照射を行いこの光照射による前記検査対象物の表面からの反射光を上方から撮像し当該反射光による画像データを画素ごとに演算処理し検査対象物の大きさと形状を求めこれら形状データパタ-ンの特徴を抽出する形状パタ-ン抽出判定手段と、検査対象物の上方に配置されたスリット光発生手段により前記検査対象物に対してスリット光照射を行ない反射光を光切断線として上方から撮像し当該光切断線による画像データを処理して形状線データを求めこれらから検査対象物の位置と形状を求める形状線抽出判定手段よりなる装置において、該形状線判定抽出手段と前記形状パタ-ン抽出判定手段からの抽出結果に基づき前記検査対象物が良品か否かを判定する信号デ-タ処理手段と、検査対象物を載置し前記形状パタ-ン抽出判定手段と形状線抽出判定手段の間を移動させるステージを有することを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件)：
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