特許
J-GLOBAL ID：200903077134092945
サセプターサポートシャフト及びエピタキシャル成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
とこしえ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-309860
公開番号（公開出願番号）：特開2009-135258
出願日： 2007年11月30日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】高温環境下で長期間使用した場合も変形を低減あるいは防止することができるサセプターサポートシャフトを提供する。 【解決手段】サセプターサポートシャフト30において、3本の支柱32は、主柱31の先端部で主柱31に固設されて支持されるばかりでなく、補強部材34により相互に接続されて相互に支持される。すなわち、主柱31との連接箇所と補強部材34との連接箇所の2箇所において支持される。従って、支柱32の機械的負荷に対する強度は相当に改善され強化されており、エピタキシャル成長を行う高温環境下で、大量のウエーハWに対してエピタキシャル成長処理を行うために長期間にわたって使用したとしても、支柱32の変形を防止することができる。 【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
主柱と、
サセプターを支持する複数の支柱であって、各々は所定の箇所において前記主柱に連接される複数の支柱と、
前記複数の支柱の各々について、当該支柱の前記主柱との連接箇所とは異なる箇所において当該支柱と連接され、当該支柱との連接箇所とは異なる箇所において当該支柱以外の他の部材と連接される補強部材と
を有することを特徴とするサセプターサポートシャフト。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030GA01
, 4K030GA02
, 4K030GA12
, 5F045AA03
, 5F045AB02
, 5F045AF03
, 5F045BB08
, 5F045DP04
, 5F045DP28
, 5F045DQ10
, 5F045EK11
, 5F045EM03
, 5F045EM09
, 5F045EM10
