特許

J-GLOBAL ID：200903077144029036

半導体用薬液タンク

発明者： 我部山 民樹 ,  発地 環樹
出願人/特許権者： 住友ケミカルエンジニアリング株式会社 ,  ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 永田 武三郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243315
公開番号（公開出願番号）：特開平8-080996
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 タンク内の薬液の金属汚染を確実に防ぐことができる半導体用薬液タンクを提供する。【構成】 金属缶体にライニング材を設けて構成する半導体用薬液タンクにおいて、缶体部a1に、例えばポリエチレンコーティング1等の汎用樹脂ライニング材と、PFAシート2等の耐薬品性に優れたふっ素樹脂ライニングシート材とを設けて2層ライニング構造とする。下蓋部a2および上蓋部a3も前記と同様な2層ライニング構造とする。【効果】 ふっ素樹脂ライニングシート材に不具合(ピンホールやクラック)が生じた場合、中間層の汎用樹脂に薬液が接触し、金属缶体に接触しないため、タンク内の薬液の金属汚染が防げる。

請求項（抜粋）：

金属缶体にライニングシート材を設けて構成する半導体用薬液タンクにおいて、接液側にふっ素樹脂ライニングシート材を設け、その裏側にふっ素樹脂を除く汎用樹脂ライニング材を設けて2層ライニング構造としたことを特徴とする半導体用薬液タンク。

IPC (3件)：

B65D 90/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/56