セラミック素子、セラミック素子の製造方法、表示装置、リレー装置及びコンデンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-146170
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339561
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】印加電圧に応じて機械的変位量をアナログ的に変化させ、駆動電圧の印加終了後における電圧無負荷状態において、駆動電圧印加時と同等の変位量を維持させる。【解決手段】反強誘電体膜22と該反強誘電体膜22の一主面(表面)に形成された一対の電極24a及び24bとを有するアクチュエータ部本体26と、該アクチュエータ部本体26を支持する振動部18と、該振動部18を振動可能に支持する固定部20とを設けて構成し、更に、分極後の反強誘電体膜22が、一対の電極24a及び24bに印加される電圧Vに応じて、その平均誘電率がアナログ的に増加する領域Ztを有するように構成する。具体的には、反強誘電体膜22の平均膜厚をt、一対の電極24a及び24b間のピッチをpとしたとき、p/t≦2.5を満足するように構成する。

請求項（抜粋）：

反強誘電体膜と該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有する作動部と、前記作動部を支持する振動部と、前記振動部を振動可能に支持する固定部と、を有することを特徴とするセラミック素子。

IPC (7件)：

H01B 3/12 313 , C04B 35/49 , C04B 35/64 , G02B 7/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (7件)：

H01B 3/12 313 H , G02B 7/00 F , C04B 35/49 B , C04B 35/64 G , H01L 41/08 C , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

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