特許

J-GLOBAL ID：200903077150399619

基板外観検査装置

発明者： 大平 良司
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (2件)： 大垣 孝 ,  岡田 宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-020751
公開番号（公開出願番号）：特開2008-185514
出願日： 2007年01月31日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：

【課題】CADデータを用いて基板の外観検査を行うに当り、基板画像のゆがみにかかわらず、虚報率を低く抑える。【解決手段】撮影された基板画像の観測データであって、基板画像の変形を反映した観測値Aを求める基板観測手段100と、CADデータから作成された設計画像に関して、設計値aを求める設計値算出手段200と、A/aで与えられる変形パラメータを算出する変形パラメータ算出手段20と、変形パラメータを設計値aに作用させて設計画像を参照画像へと変形する参照画像作成手段30と、基板画像と参照画像のそれぞれの画像内位置に関係づけられた基板属性と参照属性との一致度を、基板画像及び参照画像の相対的位置を変化させながら算出し、一致度が最大となる点で基板画像と参照画像とを重ね合わせる画像重畳手段40とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

コンピュータを用いた基板外観検査装置であって、 撮影された基板の画像である基板画像の物理量に関する観測データであって、内因又は外因に起因する前記基板画像の変形を反映した観測値Aを求める基板観測手段と、 前記基板の設計用のCADデータを記憶手段から読み出して作成された設計画像に関して、前記観測値Aに対応する設計値aを求める設計値算出手段と、 A/aで与えられる変形パラメータを算出する変形パラメータ算出手段と、 前記変形パラメータを前記設計値aに作用させて前記設計画像の変形画像である参照画像を作成する参照画像作成手段と、 前記基板画像と前記参照画像とを暫定的に重ね合わせ、該基板画像と該参照画像とに共通した属性であって、該基板画像と該参照画像のそれぞれの画像内位置に関係づけられた基板属性と参照属性との一致度を、該基板画像及び該参照画像の相対的位置を変化させながら算出し、該一致度が最大となる点で前記基板画像と前記参照画像とを重ね合わせる画像重畳手段と を備えることを特徴とする基板外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01N21/956 B ,  G01B11/24 K ,  G01B11/24 F ,  G06T1/00 305C

Fターム (46件)：

2F065AA03 ,  2F065AA22 ,  2F065AA54 ,  2F065AA65 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065FF64 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB14 ,  2G051CA04 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC06 ,  2G051ED12 ,  2G051ED23 ,  5B057AA03 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB01 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE16 ,  5B057CF05 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC19 ,  5B057DC25 ,  5B057DC32

引用特許：

出願人引用 (2件)

• プリント配線基板の外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-293444   出願人：株式会社ユニシアジェックス, 株式会社高岳製作所
• 外観検査の基準データ作成装置、外観検査システム、外観検査の基準データ作成方法及び外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-400124   出願人：株式会社東芝