特許
J-GLOBAL ID:200903077155325745

位置測定装置及び位置測定装置を作動させる方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-293620
公開番号(公開出願番号):特開2007-132932
出願日: 2006年10月30日
公開日(公表日): 2007年05月31日
要約:
【課題】高精度な位置測定用の適切な光源を有する位置測定装置及びこの位置測定装置を作動させる方法を提供することにある。【解決手段】この少なくとも1つの測定方向に互いに移動するように配置され2つの物体の位置を検出する位置測定装置は、スケール本体,光源を有する走査手段及び移相に依存する位置信号を生成する1つ又は多数の光学構成要素及び/又は光電式構成要素を有する。大きいコヒーレント長を有する半導体レーザーが、光源として設けられている。この半導体レーザーは、シングルモード動作でパルス動作する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくとも1つの測定方向に互いに可動に配置されている2つの物体の位置を測定する位置測定装置にあって、この場合、この位置測定装置は、スケール本体,光源を有する走査手段及び移相に依存する位置信号を生成する1つ又は多数の光学構成要素及び/又は光電式構成要素を有する位置測定装置において、 光源(21;201;51;61;71;421;521;621)は、大きいコヒーレント長を有する半導体レーザーとして構成されていて、この半導体レーザーは、シングルモード動作でパルス動作することを特徴とする位置測定装置。
IPC (1件):
G01D 5/38
FI (1件):
G01D5/38 Z
Fターム (10件):
2F103BA01 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103EB02 ,  2F103EB18 ,  2F103EC08 ,  2F103EC11
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • ヨーロッパ特許第 1 019 669号明細書
  • ドイツ連邦共和国特許出願公開第 10 2005 043 569号明細書
  • ヨーロッパ特許第 1 334 332号明細書
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