特許
J-GLOBAL ID:200903077155765753
液晶表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-101071
公開番号(公開出願番号):特開2000-292809
出願日: 1999年04月08日
公開日(公表日): 2000年10月20日
要約:
【要約】【課題】 遮光層として用いられているWSi間の電気的ショートを抑制することを目的とする。【解決手段】 透明電極14がTFTのドレイン領域22と電気的に接続する金属配線が、Al-Si-Cu/WSiなどの第2金属配線8と第4金属配線10の多層膜構造とすることにより、第2層間絶縁膜11上にバリアメタル層を形成する必要がなくなるため、第2層間絶縁膜11上の遮光層である第5金属配線12とのショートによる画素欠陥を抑制することができる。
請求項(抜粋):
一主面上に複数個の薄膜トランジスタが形成されており、前記薄膜トランジスタごとに透明電極が電気的に接続されている画素部を有する一方の基板と、前記一方の基板に対向配置された他方の基板との間に液晶層を備えた液晶表示装置において、前記透明電極が絶縁膜を介して前記トランジスタのドレイン領域を電気的に接続する導電層が2層以上の積層構造を有することを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3件):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 348
, H01L 29/786
FI (3件):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 348 A
, H01L 29/78 616 U
Fターム (56件):
2H092JA25
, 2H092JA29
, 2H092JA38
, 2H092JA42
, 2H092JA44
, 2H092JA46
, 2H092JB13
, 2H092JB23
, 2H092JB32
, 2H092JB33
, 2H092JB38
, 2H092JB42
, 2H092JB51
, 2H092JB57
, 2H092JB63
, 2H092JB69
, 2H092KA16
, 2H092KA18
, 2H092MA07
, 2H092MA13
, 2H092MA17
, 2H092MA35
, 2H092MA37
, 2H092MA41
, 2H092MA55
, 2H092NA16
, 2H092NA25
, 2H092NA27
, 2H092PA06
, 5C094AA42
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DB04
, 5C094DB10
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA10
, 5C094FA02
, 5C094FB02
, 5C094FB12
, 5C094GB10
, 5F110AA26
, 5F110CC01
, 5F110HL01
, 5F110HL04
, 5F110HL05
, 5F110HL06
, 5F110HL12
, 5F110HL30
, 5F110NN03
, 5F110NN44
, 5F110NN45
, 5F110NN46
, 5F110NN72
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