特許
J-GLOBAL ID：200903077157273238
制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266123
公開番号（公開出願番号）：特開平5-108167
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 流体制御手段とそれ自身の異常を検出できる設定監視手段とからなる制御装置を提供することを目的とする。【構成】 シーケンスコントローラ1は、マスフローコントローラ2の制御開始から一定時間、動作の変動状態を監視することによりマスフローコントローラ2の異常を検出する。
請求項（抜粋）：
流体の体積流量を制御する流量制御手段と、前記流体制御手段の動作条件が設定してあり前記流体制御手段の制御の動作開始直後の前記動作の変動を監視することにより前記流体制御手段の異常を検出する設定監視手段とから構成された制御装置。
IPC (3件)：
G05D 7/06
, G05B 23/02 302
, H01L 21/205
