特許
J-GLOBAL ID：200903077169901277
給排ガスの切替システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189352
公開番号（公開出願番号）：特開平5-007763
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 制御手段の誤った指令に対して危険ガスの混合を防止する。【構成】 混合してはならない複数の供給ガスを供給し得る供給系12をガス使用部2へ接続すると共に、この使用部から供給ガスに応じて異なった排気系14を有するガス使用システムにおいて、供給弁16と排出弁28を切替制御する制御手段32と、この制御手段32の指令にかかわらず、上記排出弁28の状態に基づいて上記供給弁16の切替えの可否を行なう行なうインターロック機構34を設け、制御手段32等の誤動作に対応する。
請求項（抜粋）：
混合されてはならない2種以上のガスをそれぞれ供給弁を介してガス使用部へ供給すると共に、前記ガス使用部からの排ガスをそれぞれ供給ガスに応じて異なった排気系へ排出弁を介して排出するガス使用システムにおいて、前記ガス使用部において必要とされるガスに応じて前記供給弁と前記排出弁とを切替えるための制御手段と、前記制御手段からの指令にかかわらず、前記排出弁の状態に基づいて前記供給弁の切替えの可否を行なうインターロック機構とを備えたことを特徴とする給排ガスの切替システム。
IPC (4件)：
B01J 4/00 102
, H01L 21/205
, H01L 21/285
, H01L 21/285 301
