特許

J-GLOBAL ID：200903077174976986

シャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト

発明者： 城ノ下 幸慶 ,  桑原 昌美
出願人/特許権者： 東洋インキ製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-250321
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092964
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】アルカリ溶解・剥離性と耐エッチング液性とを併せ持つシャドーマスク用エッチングレジストの提供。【解決手段】(a)リン酸基を有するアクリレートまたはメタクリレート化合物、および(b)他のアクリレートまたはメタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト。

請求項（抜粋）：

(a)リン酸基を有するアクリレートまたはメタクリレート化合物、および(b)他のアクリレートまたはメタクリレート化合物を含むことを特徴とするシャドーマスク用活性エネルギー線硬化性エッチングレジスト。

IPC (4件)：

C23F 1/00 102 ,  C08L 43/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D143/02

FI (4件)：

C23F 1/00 102 ,  C08L 43/02 ,  C09D 5/00 C ,  C09D143/02