特許
J-GLOBAL ID：200903077184492626
基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-153564
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015384
出願日： 1994年07月05日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】回路基板の電圧検査の後に、回路基板に蓄積された電荷を容易に除去できる。【構成】各コンタクトプローブ30の接触ピン32が、回路基板20にそれぞれ接触されると、各接触ピン32は絶縁スリーブ31に対してスライドする。そして、接触ピン32に設けられた絶縁体35が導電キャップ37に接触した状態になると、それらは相互に絶縁状態になり、導線33による各接触ピン32の電気的接続が遮断される。その後、各接触ピン32は、回路基板20に接触した状態を保持して、各接触ピン32と導電キャップ37とが電気的に接続される。これにより、各接触ピン32同士がショートした状態になり、回路基板に蓄積された電荷が各接触ピン32を通って除去される。
請求項（抜粋）：
所定位置に支持される基板に対向するように配置されており、その基板に対して接離可能になったベース板と、ベース板の所定位置に保持されたスリーブと、そのスリーブに対してスライド可能に保持された導電性の接触ピンとをそれぞれ有する複数のコンタクトプローブと、各コンタクトプローブの接触ピン同士を電気的に接続する導線とを具備し、各コンタクトプローブには、接触ピンがスリーブに対してスライドすることにより、各接触ピンと導線との電気的接続を遮断するスイッチ機構が設けられていることを特徴とする基板検査装置。
IPC (5件)：
G01R 31/28
, G01R 1/067
, G01R 27/02
, G01R 31/26
, H01L 21/66
