特許

J-GLOBAL ID：200903077188432300

レーザーガス精製装置

発明者： バスティング ディルク ,  シュタイン フューラー ゲルト ,  フォス フランク
出願人/特許権者： ラムダ フィジーク ゲゼルシャフト ツール ヘルステルング フォン ラーゼルン エム ベーハー
代理人 (1件)： 小山田 光夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-077164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263777
出願日： 1991年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 気体レーザー放電室のレーザーガスを精製装置へ導いて精製する。【構成】 液体窒素を使用してレーザーガスから不純物を凍結除去するエキシマレーザーおよびF2 レーザーのレーザーガス精製装置において、上記凍結除去の温度は液体窒素12の液面14上方の圧力によって調節するようにした。

請求項（抜粋）：

液体窒素を使用してレーザーガスから不純物を凍結除去し、およびこの凍結温度を調節自在とした、特にエキシマおよびF2 レーザー用のレーザーガス精製装置において、上記凍結除去の温度は、上記液体窒素(12)の液面(14)上方の圧力によって調節することを特徴とするレーザーガス精製装置。

IPC (3件)：

H01S 3/03 ,  B01D 8/00 ,  H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/03 Z ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-101274