特許
J-GLOBAL ID：200903077190935149
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332047
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162827
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 露光のためのジョブ登録エラーが発生しても、露光処理は継続させつつ、登録エラーが発生したジョブの対処操作を可能とすること。【解決手段】 上流のコータから送られてきたジョブ登録データであるレシピがレシピファイルにないものである場合に、ダミージョブを登録し、ダミージョブが登録されたことをオペレータに通知して、イベント待ちに入る。ダミージョブが登録されたことを通知されたオペレータがそのダミージョブを正常なジョブに差し換えることで、そのジョブが実行される段階に至っても正常に露光処理は継続され、結局、露光処理を中断することなく継続させることができる。
請求項（抜粋）：
パターンが露光される基板の露光条件種別データであるレシピを受けて露光処理を登録する第1登録手段と、前記登録された露光処理を行う露光処理手段とを具備する露光装置において、前記レシピを受けた際に該レシピの露光処理が前記第1登録手段に登録されていない場合にエラーと判断するエラー検知手段と、該エラー検知手段の検知に応じて前記エラーに起因したレシピに代えて特定の露光処理を前記第1登録手段に登録する第2登録手段と、を具備することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 Z
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 564 Z
