特許
J-GLOBAL ID：200903077192082208
半導体テスト装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349721
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157802
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 同一デバイスでデータ内容が異なるマスクROM等の場合についてもステーション間で同時測定が可能なROMデバイスのテスト装置を得る。【構成】 テストステーション2a〜2nに応じてROMデータメモリ5a〜5nをそれぞれ設け、入力データ信号8a〜8nをそれぞれ対応するDUT11a〜11nに入力するように構成する。
請求項（抜粋）：
試験プログラムに基づいて所定の試験信号を複数の被測定半導体装置に与え、その応答出力と期待値と比較して良否判定を行う半導体テスト装置において、複数の被測定半導体装置に応じたそれぞれ内容の異なる試験信号を出力するとともに、それぞれの試験信号に応じた期待値信号を出力する複数の試験・期待値信号出力手段と、上記複数の被測定半導体装置に応じてそれぞれ設けられ、上記該試験・期待値信号出力手段の出力する上記期待値信号と、上記被測定半導体装置からの応答出力とを比較する比較手段とを備えたことを特徴とする半導体テスト装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/318
, H01L 21/66
