特許
J-GLOBAL ID：200903077192753080
微分干渉顕微鏡による計測システムおよび計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 康文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107906
公開番号（公開出願番号）：特開平5-303041
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】微小な凹凸差を検出するのに適する微分干渉顕微鏡による計測システムおよび計測方法に関し、試料の計測か所が急傾斜の場合や2光線の横ずれ量より狭い場合でも計測可能とし、しかも計測者の個人差などが発生せず、常に正確かつ自動的な計測を可能とすることを目的とする。【構成】微分干渉顕微鏡の光源として、複数の波長成分を持つ光源を用い、かつ試料台には、水平軸の回りに試料を回転させるための傾斜機構10を備えるとともに、試料3の急斜面3aを計測する際に、該傾斜機構10によって、該試料3の急斜面3aの傾斜がゆるくなるように回転させた状態で、微分干渉顕微鏡法によって計測を行ない、回転量を加味して補正計算することで実際の傾斜角を得る。
請求項（抜粋）：
微分干渉顕微鏡の光源として、複数の波長成分を持つ光源を用い、かつ試料台には、水平軸の回りに試料を回転させるための傾斜機構(10)を備えるとともに、試料(3) の急斜面(3a)を計測する際に、該傾斜機構(10)によって、該試料(3)の急斜面(3a)の傾斜がゆるくなるように回転させた状態で、微分干渉顕微鏡法によって計測を行ない、回転量を加味して補正計算することを特徴とする微分干渉顕微鏡による計測方法。
IPC (2件)：
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