特許

J-GLOBAL ID：200903077193386103

半導体加速度センサ

発明者： 熊谷 光正 ,  前中 一介
出願人/特許権者： 多摩川精機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151337
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330622
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、梁部の両面に重錘片を設けることにより、入力軸以外からの加速度入力による他軸感度を防止することを目的とする。【解決手段】 本発明による半導体加速度センサは、梁部(2a,2b)に設けられた重錘体(3)が同一質量の第1、第2重錘片(3a,3b)よりなり、重錘体(3)の重心(G)が梁部(2a,2b)の長手方向の延長線上に配置されている構成である。

請求項（抜粋）：

上部パッケージ(5a)及び下部パッケージ(5b)により保持された梁部(2a,2b)により支持され、印加される加速度により可動する重錘体(3)と、前記重錘体(3)に対向して配設された上部及び下部検出電極(4a,4bと5A,5B)とを有する半導体加速度センサにおいて、前記重錘体(3)は前記梁部(2a,2b)を挟持して設けられた第1、第2重錘片(3a,3b)よりなり、前記重錘体(3)の重心(G)は前記梁部(2a,2b)の長手方向の延長線上に配置されている構成よりなることを特徴とする半導体加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (8件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06