特許
J-GLOBAL ID：200903077195034689
試料表面観察装置およびこれを用いた記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053631
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265343
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 画面全体としては高速走査、解像度またはこれを同時に維持することが可能である。【構成】 プローブ1を試料面に対して極微少距離まで接近させる為、カンチレバー3上面には微動アクチュエーター4が設けられている。カンチレバー3の上方には垂直または水平方向力によるカンチレバー3の変形を検出するための半導体レーザー5、四分割センサー6よりなる光てこ方式センサーが設けられている。4分割センサー6にはカンチレバー3の水平方向力を検出するための水平方向力検出回路11が接続され、水平方向力検出回路11には水平方向力に基づいて走査速度を補正する走査速度補正回路12が接続されている。走査速度補正回路12には走査信号発生回路10を介して試料2を走査駆動する走査駆動アクチュエーター9が接続されている。
請求項（抜粋）：
片持ち梁型弾性部材に支持されたプローブと試料間の距離または接触状態を制御する距離制御手段と、前記プローブと試料を相対的に試料表面と平行に走査させる走査手段とを備える試料表面観察装置において、該プローブと試料表面間に発生する試料表面と平行な水平方向力を検出する検出手段と、該水平方向力をサーボ信号として前記走査手段による走査速度を帰還制御する走査速度制御手段とが備えられたことを特徴とする試料表面観察装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
