特許

J-GLOBAL ID：200903077197582462

フーリエ分光画像計測装置

発明者： 辻田 和宏
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089906
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300633
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 2次元的広がりを有する物体から発せられた被測定光を干渉計で干渉させ、その干渉による光の明暗を検出した信号をフーリエ変換して被測定光のスペクトルを上記物体上の各点毎に計測するフーリエ分光画像計測装置において、大きな視野および測定光量を確保した上で小型化を実現し、そして観測点以外の部分からの迷光を除去する。【構成】 被測定光11が入射する位置に正立結像系をなす2次元結像レンズアレイ12を配し、この2次元結像レンズアレイ12による結像位置に、該レンズアレイ12の各レンズ12aにより収束した被測定光11をそれぞれ通過させる複数のピンホール13aを有するピンホール板13を配し、上記ピンホール13aを通過した被測定光11を2次元コリメートレンズアレイ14により平行光化して干渉計に導き、ピンホール板13を2次元走査手段16により上記結像位置内で2次元走査させる。

請求項（抜粋）：

2次元的広がりを有する物体から発せられた被測定光が入射する位置に配された、正立結像系をなす2次元結像レンズアレイと、この2次元結像レンズアレイによる結像位置に配され、該レンズアレイの各レンズにより収束した被測定光をそれぞれ通過させる複数のピンホールを有するピンホール板と、このピンホール板を前記結像位置内で2次元走査させる走査手段と、前記ピンホール板の各ピンホールを通過した被測定光をそれぞれ平行光化する複数のレンズからなる2次元コリメートレンズアレイと、この2次元コリメートレンズアレイを通過した被測定光を2つの光束に分割した後、1つの光束に合成する光学系と、前記2つの光束の少なくとも一方の光路長を変調する手段と、複数の受光素子がアレイ状に組み合わされてなり、前記光学系により合成された1つの光束の光強度を光束内の各位置毎に検出する2次元光検出器と、この2次元光検出器の各受光素子の出力信号をフーリエ変換して、前記被測定光のスペクトルを前記物体上の各点毎に求める信号処理手段とからなるフーリエ分光画像計測装置。