特許

J-GLOBAL ID：200903077204429969

位置決め装置及び該装置を備えた露光装置

発明者： 小野 一也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224705
公開番号（公開出願番号）：特開平11-069762
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 ウエハのような位置決め対象物が載置されたテーブルを非接触で安定に支持できると共に、そのテーブルを非接触で容易に位置決めできる位置決め装置を提供する。【解決手段】 磁石板8を含むウエハテーブル5上にウエハWを保持し、ウエハテーブル5を磁気回路内に収納して浮上力を与えておく。ウエハテーブル5の底面側に、ほぼ矩形に巻かれた多数の駆動コイルを、常時何れかの駆動コイルがウエハテーブル5のエッジを横切るように配置する。ウエハテーブル5の底面に全部が収まっている駆動コイル12Aによってウエハテーブル5の浮上力を制御して、ウエハテーブル5を非接触状態で安定に支持し、ウエハテーブル5のエッジを横切る位置にある駆動コイル11A,11Bによって、ウエハテーブル5に対してX方向、Y方向へのローレンツ力の反力としての推力を付与する。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物が載置される平板状可動体を位置決めするための位置決め装置であって、前記平板状可動体に一体的に組み込まれ前記平板状可動体が移動する面に垂直な一方向に磁束を発生する平板状発磁体と、前記平板状発磁体の底面側に、常時何れかの駆動コイルが前記平板状発磁体のエッジ部を横切るように配置された複数の駆動コイルと、前記平板状可動体が移動する面内での前記平板状可動体の位置を検出する位置検出装置と、該位置検出装置の検出結果に応じて前記駆動コイルの内で、前記平板状発磁体の底面に全部が収まる浮上用の駆動コイルと、前記平板状発磁体のエッジを横切る位置にある横シフト用の駆動コイルとを判別する制御系と、を備え、前記浮上用の駆動コイルによって前記平板状可動体を非接触状態で支持した状態で、前記横シフト用の駆動コイルによって前記平板状発磁体に発生する推力によって前記平板状可動体を位置決めすることを特徴とする位置決め装置。