特許
J-GLOBAL ID：200903077206818296
光学記録媒体の原盤作製用露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030565
公開番号（公開出願番号）：特開平10-228661
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 光学記録媒体作製用の原盤の露光の精度の向上を図る。【解決手段】 露光光の対物レンズ14と、フォトレジスト層16との間に液密性を有する固定透明遮蔽板21を設け、対物レンズ14と固定透明遮蔽板21との間、および固定透明遮蔽板21とフォトレジスト層が塗布された基板15との間とに、それぞれ露光光に対して光透過性を有する第1および第2の透明液体31および32を充填する。
請求項（抜粋）：
光学記録媒体の微細凹凸を形成する光学記録媒体の原盤作製用露光装置において、フォトレジスト層が塗布された基板の支持部と、露光光の対物レンズと、該対物レンズと、上記フォトレジスト層が塗布された基板との間に配置され、液密性を有する固定透明遮蔽板とを有し、上記対物レンズまたは上記基板の支持部の少なくとも一方に、上記対物レンズを通過して上記フォトレジスト層に到来する露光スポットを、上記フォトレジスト層において移行走査させる相対的移行手段を具備し、上記対物レンズと上記固定透明遮蔽板との間、および上記固定透明遮蔽板と上記フォトレジスト層が塗布された基板との間とに、それぞれ上記露光光に対して光透過性を有する第1および第2の透明液体が充填されたことを特徴とする光学記録媒体の原盤作製用露光装置。
引用特許：
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