特許
J-GLOBAL ID：200903077226821617
荷電粒子測定装置およびその測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240054
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050279
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、荷電粒子核種が同定された極低レベルの荷電粒子を効率よく測定できる高感度の荷電粒子測定装置を提供することにある。【解決手段】開閉可能な密封ドア15を設けた測定チェンバー7内に測定試料2と半導体検出器1を設け、半導体検出器1に接続された前置増幅器30c,線形増幅器30d,波高分析器30eで構成される放射線計測回路30と、その測定値から荷電粒子を定量する荷電粒子放出量演算装置40と、その分析結果を表示する表示器とを備え、測定チェンバー7に減圧排気配管系と、清浄ガスを供給置換するための清浄ガス供給配管系を設けた荷電粒子測定装置。
請求項（抜粋）：
開閉可能な密封ドアを具備した測定チェンバー内に、半導体検出器と、該半導体検出器に対向するように測定試料を設置するための試料トレイを設け、前記半導体検出器と接続された前置増幅器,線形増幅器,波高分析器から構成される放射線計測回路と、該放射線計測回路からの出力信号により荷電粒子を定量分析する荷電粒子放出量演算装置と、該荷電粒子放出量演算装置の分析結果を表示する表示器と、前記測定チェンバーに空気を排気するための減圧排気配管系と、清浄ガスを供給置換するための清浄ガス供給配管系を設けたことを特徴とする荷電粒子測定装置。
IPC (4件)：
G01T 1/167
, G01T 1/24
, G01T 1/36
, G01T 7/04
G01T 1/167 B
, G01T 1/24
, G01T 1/36 A
, G01T 7/04
2G088FF06
, 2G088GG21
, 2G088LL02
, 2G088LL26
