特許

J-GLOBAL ID：200903077237179313

非球面研削装置

発明者： 島田 正隆 ,  吉原 敏幸 ,  半田 幸樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073974
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262751
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、砥石を用いてレンズや金型の非球面加工を行う非球面研削装置に関し、加工時間および砥石の摩耗を従来より大幅に低減することを目的とする。【解決手段】 被加工物を保持するチャック部と、チャック部の中心を軸心として回転する回転軸を備えたワークスピンドル部と、ワークスピンドル部を回転するワークチルトテーブル部と、ワークチルトテーブル部を移動するワークスライドテーブル部と、総型砥石を回転する砥石スピンドル部と、砥石スピンドル部を保持する砥石スピンドル支持部と、被加工物への総型砥石の押圧力を検出する加工抵抗検出部と、砥石スピンドル支持部を押圧するアクチュエータと、加工抵抗検出部からの信号に基づいて被加工物への総型砥石の押圧力が一定になるようにアクチュエータを制御する制御部とを有して構成する。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャック部と、前記チャック部が固定され、前記チャック部の中心を軸心として回転する回転軸を備えたワークスピンドル部と、前記ワークスピンドル部を載置し、前記回転軸と直交する回転軸を中心に回転可能に設けられたワークチルトテーブル部と、前記ワークチルトテーブル部を載置し、前記ワークチルトテーブル部の回転軸に垂直な方向に移動可能なワークスライドテーブル部と、総型砥石を保持し、前記ワークスライドテーブル部の移動方向に平行に位置され前記総型砥石の中心を通る軸を回転軸とした砥石スピンドル部と、前記砥石スピンドル部を保持し、前記ワークスライドテーブル部の移動方向に移動機構により移動可能とされる砥石スピンドル支持部と、前記砥石スピンドル支持部を載置し、前記被加工物への前記総型砥石の押圧力を検出する加工抵抗検出部と、前記加工抵抗検出部を載置し、前記ワークスライドテーブル部の移動方向と直交する方向に移動可能な砥石シフトテーブル部と、前記砥石シフトテーブル部に固定され、前記砥石スピンドル支持部を押圧するアクチュエータと、前記ワークスライドテーブル部および前記砥石シフトテーブル部を載置する架台と、前記加工抵抗検出部からの信号に基づいて前記被加工物への前記総型砥石の押圧力が一定になるように前記アクチュエータを制御する制御部と、を有してなることを特徴とする非球面研削装置。