特許

J-GLOBAL ID：200903077242124772

クロムパターンの形成方法および液晶表示装置の製造方法

発明者： 保苅 一志
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 花輪 義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331603
公開番号（公開出願番号）：特開2002-129362
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 クロム層をセリウム塩を含有するクロムエッチング液を用いてエッチングする際に表面に沈着するセリウム化合物を除去する。【解決手段】 液晶表示装置のスイッチング素子としての薄膜トランジスタのドレイン電極18およびソース電極19を、n型アモルファスシリコン層32上に成膜されたクロム層をレジストパターン34、35をマスクとしてクロムエッチング液を用いてエッチングして形成すると、表面にセリウム化合物36が沈着する。次に、硝酸溶液またはフッ酸溶液からなる酸性溶液を用いて後処理を行い、セリウム化合物36を除去する。

請求項（抜粋）：

クロムパターンを形成するに際し、クロム層をその上に形成されたレジストパターンをマスクとしてセリウム塩を含有するクロムエッチング液を用いてエッチングした後、表面に沈着したセリウム化合物を酸性溶液を用いて除去することを特徴とするクロムパターンの形成方法。

IPC (11件)：

C23F 1/26 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (11件)：

C23F 1/26 ,  G02F 1/1335 500 ,  H01L 21/28 E ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/304 647 Z ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/306 F ,  H01L 21/88 C ,  H01L 21/88 M ,  H01L 29/78 616 K ,  H01L 29/78 627 C

Fターム (99件)：

2H091FA35Y ,  2H091FC02 ,  2H091FC10 ,  2H091FC26 ,  2H091FD04 ,  2H091FD12 ,  2H091FD22 ,  2H091GA13 ,  2H091LA11 ,  2H091LA12 ,  2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA47 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB37 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA09 ,  4K057WA01 ,  4K057WA20 ,  4K057WB05 ,  4K057WB06 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WE07 ,  4K057WG10 ,  4K057WK01 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB40 ,  4M104CC01 ,  4M104DD64 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104HH20 ,  5F033GG04 ,  5F033HH05 ,  5F033HH08 ,  5F033HH17 ,  5F033LL04 ,  5F033MM05 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ93 ,  5F033VV15 ,  5F033XX21 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043BB27 ,  5F043BB30 ,  5F043DD12 ,  5F043GG02 ,  5F110AA26 ,  5F110AA30 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG35 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK42 ,  5F110NN02 ,  5F110NN12 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ05