特許
J-GLOBAL ID：200903077244377414
ガス濃度測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101888
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273126
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 半導体レーザを用いた混合ガスの濃度測定方法および装置において、半導体レーザの特性の経時変化によらず常に正確な濃度測定をすること。【構成】 半導体レーザから発振されるレーザ光を複数の成分ガスから成る混合ガスに透過させ、レーザ光が成分ガスにより吸収されて生ずるピーク時の透過レーザ光を光電変換して得られる信号の位相敏感検波出力を測定し、その出力に基づいて成分ガスの濃度を算出する混合ガスの濃度測定方法において、測定に先立って測定対象となる混合ガスと同じ成分ガスから成る参照ガスを半導体レーザの発振波長を可変して掃引し、レーザ光が各成分ガスにより吸収されて生ずるピーク時の少なくとも半導体レーザの端子電圧と透過レーザ光の基本波位相敏感検波出力とを記憶しておき、その後の測定時にその記憶した端子電圧および基本波位相敏感検波出力を用いて半導体レーザの発振波長を制御するようにした。
請求項（抜粋）：
所定周波数の変調電流を重畳した電流により駆動される半導体レーザから発振されるレーザ光を、複数の成分ガスから成る未知濃度の試験ガスと同じ成分ガスから成る既知濃度の参照ガスとに別々に透過し、透過レーザ光を光電変換して得られる信号の2倍波を位相敏感検波して得られる信号の強度に基づいて試験ガスの成分ガスの濃度を測定するガス濃度測定方法において、濃度測定に先立って半導体レーザの発振波長を順次変化させながら前記参照ガスにレーザ光を透過し、参照ガスの成分ガスによるレーザ光の吸収がピークとなるときの半導体レーザの動作条件と、透過レーザ光を光電変換して得られる信号の基本波位相敏感検波により得られる信号強度とを記憶し、その後該動作条件および信号強度に基づいて半導体レーザを駆動して濃度測定することを特徴とするガス濃度測定方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
