表面品質検査方法及び表面品質検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田北嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334236
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152322
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】本発明は鉄鋼プロセスにおいて製造される鋳片や鋼板などどいった材料の表面形状計測や表面疵検出を行う表面品質検査に関するものである。【解決手段】被検査材が高温である熱間状態で、撮像手段により対象物表面を2次元画像として撮像し、該撮像画像に画像処理を施して被検査材の表面品質を検査する方法において、被検査材から発せられる自発光の波長に対して、より短い波長領域にピーク波長を持つ強度分布を有し、かつ各々のピーク波長が異なる、1次元光源及び2次元光源の2つの光源で被検査材表面の同一位置を同時に照射し、該被検査表面の照射位置からの反射光に対して、2つの光源の波長成分を光学的に選択分離し、異なる2つの撮像素子上に2次元画像として結像させ、1次元光源による反射光画像に光切断法に基本とした画像処理を加えて被検査材表面の形状を求めると共に、2次元光源による反射光を2次元画像解析して被検査材表面の疵を検出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査材が高温である熱間状態で、撮像手段により対象物表面を2次元画像として撮像し、該撮像画像に画像処理を施して被検査材の表面品質を検査する方法において、被検査材から発せられる自発光の波長に対して、より短い波長領域にピーク波長を持つ強度分布を有し、かつ各々のピーク波長が異なる、1次元光源及び2次元光源の2つの光源で被検査材表面の同一位置を同時に照射し、該被検査材表面の照射位置からの反射光に対して、2つの光源の波長成分を光学的に選択分離し、異なる2つの撮像素子上に2次元画像として結像させ、1次元光源による反射光画像に光切断法を基本とした画像処理を加えて被検査材表面の形状を求めると共に、2次元光源による反射光を2次元画像解析して被検査材表面の疵を検出することを特徴とする表面品質の検査方法。

IPC (6件)：

G01B 11/30 , B21C 51/00 , G01B 11/24 , G01N 21/89 , G06T 7/00 , H04N 7/18

FI (6件)：

G01B 11/30 E , B21C 51/00 P , G01B 11/24 G , G01N 21/89 B , H04N 7/18 B , G06F 15/62 400

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