特許
J-GLOBAL ID：200903077256167814
反射型走査型近接場顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308225
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159696
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 高精度な反射型走査型近接場顕微鏡を得る。【構成】 本願発明の反射型走査型近接場顕微鏡は、光源5と、光源5から放射される光の波長より小さい直径有し、検査される被測定物3の表面に近接し、被測定物3の表面との間で相対的に走査可能な状態で設置されている開口7と、開口7を経て光源5から被測定物3に放射された光が被測定物3で反射した反射光を受光して電気信号に変換する光検出器10、反射光を集光し光検出器10に導き被測定物3の検査すべき所定部位を一方の焦点とし光検出器10の検出面上の一点をもう一方の焦点とするように被測定物3に対向して配置されている光導入手段から構成される。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から放射される光の波長より小さい直径有し、検査される被測定物の表面に近接し、前記被測定物の表面との間で相対的に走査可能な状態で設置されている開口と、前記開口を経て該光源から前記被測定物に放射された光が該被測定物で反射した反射光を受光して電気信号に変換する光検出器、前記反射光を集光し前記光検出器に導き前記被測定物の検査すべき所定部位を一方の焦点とし前記光検出器の検出面上の一点をもう一方の焦点とするように前記被測定物に対向して配置されている光導入手段から成ることを特徴とする反射型走査型近接場顕微鏡。
IPC (2件)：
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