半導体装置、液晶表示装置、EL表示装置、半導体薄膜の製造方法および半導体装置の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝英二 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-221823
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203861
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】高特性でかつ高信頼性を有する半導体装置を提供する。【解決手段】多結晶の半導体層(11)を有する薄膜トランジスタ(40)を備えており、半導体層(11)内に、チャネル領域(22)と、チャネル領域(22)の両側に位置する高濃度不純物領域(24,17)と、チャネル領域(22)及び高濃度不純物領域(24,17)間に位置し高濃度不純物領域(24,17)よりも不純物濃度が低い低濃度不純物領域(18a,18b)とを有し、低濃度不純物領域(18b)に少なくとも一部が存在する結晶(14)の粒径が、他の結晶(15)の粒径よりも大きいことを特徴とする半導体装置である。

請求項（抜粋）：

多結晶の半導体層を有する薄膜トランジスタを備えており、前記半導体層内に、チャネル領域と、該チャネル領域の両側に位置する高濃度不純物領域と、前記チャネル領域及び高濃度不純物領域間に位置し前記高濃度不純物領域よりも不純物濃度が低い低濃度不純物領域又は不純物を含まないオフセット領域とを有し、前記低濃度不純物領域又はオフセット領域に少なくとも一部が存在する結晶のいずれかの粒径が、他の結晶の粒径よりも大きいことを特徴とする半導体装置。

IPC (9件)：

H01L 21/336 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , G09F 9/35 , H01L 21/20 , H01L 29/786 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (11件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , G09F 9/35 , H01L 21/20 , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H01L 29/78 627 G , H01L 29/78 616 S , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 617 A

Fターム (119件)：

2H092JA29 , 2H092JA30 , 2H092JA42 , 2H092JB13 , 2H092KA04 , 2H092KA24 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092MA27 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092NA24 , 2H092NA25 , 3K007AB05 , 3K007AB11 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 5C094AA21 , 5C094AA31 , 5C094BA03 , 5C094BA29 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA14 , 5C094DA15 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5F052AA02 , 5F052AA11 , 5F052AA17 , 5F052AA24 , 5F052BA12 , 5F052BA20 , 5F052BB01 , 5F052BB07 , 5F052CA04 , 5F052DA01 , 5F052DA02 , 5F052DA03 , 5F052DA05 , 5F052DA10 , 5F052DB02 , 5F052DB03 , 5F052DB07 , 5F052EA02 , 5F052EA11 , 5F052EA12 , 5F052FA04 , 5F052FA19 , 5F052JA01 , 5F110AA01 , 5F110AA07 , 5F110AA13 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF23 , 5F110FF25 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF31 , 5F110FF32 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG13 , 5F110GG16 , 5F110GG25 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ18 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL08 , 5F110HL23 , 5F110HM07 , 5F110HM14 , 5F110HM15 , 5F110NN02 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN37 , 5F110NN72 , 5F110NN77 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110PP06 , 5F110PP35 , 5F110PP40 , 5F110QQ01 , 5F110QQ25

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