特許
J-GLOBAL ID:200903077264342684
劈開性を持つ単結晶インゴットの切断加工時の結晶方位合わせ方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平木 祐輔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-280964
公開番号(公開出願番号):特開平10-119032
出願日: 1996年10月23日
公開日(公表日): 1998年05月12日
要約:
【要約】【課題】 単結晶インゴッドを切断してウェハを製造する際に必要となる、劈開性を持つ単結晶インゴットの切断加工時の結晶方位合わせを容易かつ安全に行うことのできる方法を得る。【解決手段】 劈開性を持つ単結晶インゴット1のサイズ不足部分sを結晶端より順次面方位出しの目的で予備切断していき、その切片(1a1 、1a2 ・・)における劈開面に可視レーザ光18を照射してその入出射角φを測定し、該測定値から所望の切断面と予備切断面との角度差に関する情報を得、該情報に基づき単結晶インゴットの切断加工時の結晶方位合わせを行う。
請求項(抜粋):
劈開性を持つ単結晶インゴットの切断加工時の結晶方位合わせ方法であって、該単結晶インゴットのサイズ不足部分を結晶端より順次面方位出しの目的で予備切断していき、その切片における劈開面に可視レーザ光を照射してその入出射角を測定して結晶方位に関する情報を得、該面方位出しのための予備切断中の情報に基づき当該単結晶インゴットの本切断時における結晶方位合わせを行うことを特徴とする、劈開性を持つ単結晶インゴットの切断加工時の結晶方位合わせ方法。
IPC (4件):
B28D 5/04
, H01L 21/304 311
, H01L 21/304
, H01L 21/68
FI (4件):
B28D 5/04 C
, H01L 21/304 311 W
, H01L 21/304 311 Z
, H01L 21/68 F
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭62-263009
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特開平2-255304
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特開昭59-072730
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