特許

J-GLOBAL ID：200903077270409880

走査型電子顕微鏡

発明者： 松井 秀信
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-206191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040484
出願日： 1998年07月22日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、電子ビームを試料面上に走査し、試料から発生する二次電子を検出して画像を形成する走査型電子顕微鏡に関し、オペレータに負担をかけることなく、試料中の液体の含有量を所定の条件に保持または制御することができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 電子銃から照射される電子ビームを、試料室内に配置される試料上に走査するとともに、試料から発生する二次電子を二次電子検出器により検出する走査型電子顕微鏡において、試料に液体を送出する送出手段と、試料に含まれる液体の含有量を測定する測定手段と、測定手段により測定される含有量に基づいて、送出手段により送出する液体の送出量を制御する制御手段とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子銃から照射される電子ビームを、試料室内に配置される試料上に走査するとともに、前記試料から発生する二次電子を二次電子検出器により検出する走査型電子顕微鏡において、前記試料に液体を送出する送出手段と、前記試料に含まれる前記液体の含有量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定される前記含有量に基づいて、前記送出手段により送出する前記液体の送出量を制御する制御手段と、を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

H01J 37/20 F ,  G01N 1/00 101 G ,  G01N 1/00 101 M ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/28

Fターム (27件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA11 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA07 ,  2G001JA12 ,  2G001JA14 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001LA03 ,  2G001MA04 ,  2G001NA01 ,  2G001PA07 ,  2G001QA01 ,  2G001RA01 ,  2G001RA02 ,  2G001RA10 ,  2G001RA20 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04