特許

J-GLOBAL ID：200903077272284588

走査型プローブ顕微鏡の計測データ補正方法および計測角度誤差検出方法

発明者： 山本 登
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-225620
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083650
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 試料の表面形状を原子的尺度で計測する走査型プローブ顕微鏡に関し、Z軸方向の計測データ補正方法及び測定精度の検出方法の提供を目的とする。【構成】 X-Y平面の平坦部を有する複数段のX-Y平面部を備えた標準試料を用意する。X-Y平面部段差は予め所定値Hnまた角度は90 ゚に加工されている。探針の先端と標準試料の間隔を原子的尺度Tに保持しながら、探針を標準試料の最上段X-Y平面部からその平面方向に走査し、X-Y平面部を一段降りる毎にその斜線の長さriと計測段差hiを測定する。(Hi/hi)が各X-Y平面部位置におけるZ軸方向の補正係数を与え、またθi=cos-1(hi/ri)が角度誤差(測定精度)を与える。

請求項（抜粋）：

X-Y平面試料台に垂直なZ軸方向に保持された探針を前記試料台上に載置された試料表面に近接させ、圧電素子によって該表面と前記探針先端部の距離を一定にしつつ前記試料台を移動させて、試料の表面形状を測定する走査型プローブ顕微鏡において、Z軸方向に既知の段差Hi(ここにi=1〜n)を有するn個のX-Y 平面部の面を第1段から第n段まで複数段備えた標準試料を用意し、前記各X-Y 平面部の面方向に前記探針を走査することによって、既知の段差Hi(i=1〜n)と測定段差hi(i=1〜n)とが補正係数kiを介して一致するようなその補正係数ki(i=1〜n)を求めて記憶しておき、この補正係数ki(i=1〜n)で被計測材料の計測時の圧電素子のヒステリシス補正を行わせるようにした走査型プローブ顕微鏡の計測データ補正方法。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34