特許
J-GLOBAL ID：200903077278379866
セラミックス製チャンバー構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082007
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277486
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 製造が容易で、製造時の破損が生じにくいセラミックス製のチャンバー構造体を提供する。【解決手段】 ほぼ均等な肉厚を有する2以上のセラミック部材3、5、7、911を組み合わせ、一体的に接合してなるセラミックス製チャンバー構造体。
請求項（抜粋）：
セラミックス製のチャンバー構造体であって、ほぼ均等な肉厚を有する2以上のセラミック部材を組み合わせ、一体的に接合してなることを特徴とするセラミックス製チャンバー構造体。
Fターム (2件)：
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