特許

J-GLOBAL ID：200903077283509409

透過波長可変干渉フィルター

発明者： 岡本 幹夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035623
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244216
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】温度を変化させることで、帯域幅は変化させずに、帯域シフトのみを起こさせることができる透過波長可変干渉フィルターを提供する。【構成】屈折率の温度依存性の高い物質をスペーサー層に用いる。

請求項（抜粋）：

多層膜構造の干渉フィルターにおいて、屈折率の温度依存性の高い物質をスペーサー層に用いたことを特徴とする透過波長可変干渉フィルター。