特許

J-GLOBAL ID：200903077287074318

ボロメーター型赤外線検出素子

発明者： 秦 久敏 ,  中木 義幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154983
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346704
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 ノイズを増加させることなく微細化することができるボロメーター部を備え、精詳な画像を得ることができる赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 半導体基板1上に支持脚13で支えられ半導体基1とは熱的に分離された支持膜2と、それぞれ支持膜2上に形成された第1の電極3a及び第2の電極3bとを備えている赤外線検出素子20、複数のボロメーター膜4a、4bと絶縁性の接合膜5とが交互に積層されかつ、各ボロメーター膜4a、4bは接合膜5に形成されたスルーホール6を介して電気的に接続されたボロメーター部4を形成した。

請求項（抜粋）：

半導体基板上にその一部で支えられ上記半導体基板とは熱的に分離された支持膜と、それぞれ上記支持膜上に形成された第1の電極及び第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極とをまたぐように配置されたボロメーター部とを備える赤外線検出素子において、上記ボロメーター部は、複数のボロメーター膜と絶縁性の接合膜とが交互に積層されたものであり、上記各ボロメーター膜は上記接合膜に形成されたスルーホールを介して電気的に接続されていることを特徴とするボロメータ型赤外線検出素子。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H04N 5/33

FI (3件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C ,  H04N 5/33

Fターム (19件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA32 ,  2G065BA34 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066CA02 ,  5C024AA06 ,  5C024CA05 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024FA01 ,  5C024FA08 ,  5C024FA19 ,  5C024GA27