特許
J-GLOBAL ID：200903077297136001
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135209
公開番号（公開出願番号）：特開平7-320997
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 クリ-ンル-ムとメンテナンスル-ムとの間に配置される処理装置例えば熱処理装置をメンテナンスする場合にメンテナンス作業を軽減すること。【構成】 熱処理装置のプロセスボックス1の前面部(クリ-ンル-ムCR内)に操作パネル3Aを設けると共に、メンテナンスル-ムMR内のユ-ティリティボックス2の前面部にも前記操作パネル3Aと同じ操作を行うことのできる操作パネル3Bを設け、いずれの操作パネル3A、3Bからも操作でき、かつプロセス条件や装置の状態などの表示は、両操作パネル3A、3Bに行われるように構成する。各操作パネル3A、3Bには、操作可能な操作パネルを切り替え選択する切り替えスイッチ部61と、自己の操作パネル以外の切り替えスイッチ部61による操作パネルの切り替えを禁止する切り替え禁止スイッチ部62とを設ける。
請求項（抜粋）：
クリーンルームとメンテナンスルームとの間に設けられ、クリーンルーム側から被処理体を搬入出すると共にメンテナンスルーム側からメンテナンスが行われる処理装置において、前記処理装置を操作するために前記クリーンルーム側に設けられた操作パネルと、前記メンテナンスルーム側に設けられ、前記操作パネルの操作の少なくとも一部を行うことができる操作パネルと、を備え、各操作パネルは、自己の操作パネルと他の操作パネルとの間で切り替えるための切り替えスイッチ部を有していることを特徴とする処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/324
