特許
J-GLOBAL ID:200903077305042046

電子銃、電子光学系及び電子線装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 細江 利昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-229454
公開番号(公開出願番号):特開2001-052639
出願日: 1999年08月13日
公開日(公表日): 2001年02月23日
要約:
【要約】【課題】 クロスオーバーの位置と径の両方を所望の値に調整することのできる電子銃を提供する。【解決手段】 カソード1から出てきた一次電子線28は、広がりながら放出されるが、ウェネルト2に印加された負の抑圧電圧による影響で、ウェネルト2と第1アノード3の間付近で絞られて、第1クロスオーバー29が形成される。第2アノード4、第3アノード5の電圧を調節することにより、再び一次電子線28が絞られてできる第2クロスオーバー30の位置をガンアパーチャ6の位置にすると共に、第2クロスオーバー30の大きさを調整することが可能となる。
請求項(抜粋):
カソードと、電子ビームの発生量をコントロールするための電極と、少なくとも3つ以上の電極で構成されているアノードとを有してなる電子銃であって、(a) 複数のアノード電極のうち、カソードに1番近いアノード電極を除いた残りの2つ以上のアノード電極は、少なくとも2つ以上の電極の電圧が独立に制御可能であり、(b) カソード、電子ビームの発生量をコントロールするための電極、及び複数のアノード電極のうちカソードに1番近いアノード電極で第1クロスオーバーを形成し、(c) 第1クロスオーバーの像を、アノード電極により、任意の倍率で任意の位置に結像させるようにしたことを特徴とする電子銃。
IPC (3件):
H01J 37/063 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/29
FI (3件):
H01J 37/063 ,  H01J 37/06 Z ,  H01J 37/29
Fターム (5件):
5C030BB05 ,  5C030BB06 ,  5C030BC03 ,  5C030BC04 ,  5C030BC06

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