所望幅の感光性ドライフィルムレジスト原反ロールの作製装置、および所望幅の感光性ドライフィルムレジスト原反ロールの作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157405
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347396
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】レジストの滲み出しが無い、もしくは少ない所望幅の原反ロールを得る方法,及び装置を提供する。【解決手段】幅広の第1の原反ロールから、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを帯状にして供給するフィーダ部と、供給された保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを所定幅に切断するためのスリット部と、スリット部により切断された所定幅の、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取り、第2の原反ロールを作製する第1のリワインダー部と、スリット部により切断された所定幅以外の、帯状にされた保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取る第2のリワインダー部とを備え、且つ、少なくとも、第1のリワインダー部で、所定幅の帯状にされた保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取る前に、前記感光性ドライフィルムレジストの切断された端部に、UV光を照射するUV光照射部を備えている。

請求項（抜粋）：

保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを幅広にして巻いた、第1の原反ロール(マザー原反ロールとも言う)から、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを所望の幅にして巻いた、第2の原反ロールを作製する、所望幅の原反ロールの作製装置であって、第1の原反ロールから、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを帯状にして供給するフィーダ部と、フィーダ部により帯状にして供給される、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを所定幅に切断するためのスリット部と、スリット部により切断された所定幅の、保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取り、第2の原反ロールを作製する第1のリワインダー部と、スリット部により切断された所定幅以外の、切断残りの保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取る第2のリワインダー部とを備え、且つ、少なくとも、第1のリワインダー部で、所定幅の帯状にされた保護フィルムを付けている状態の感光性ドライフィルムレジストを巻き取る前に、前記感光性ドライフィルムレジストの切断された端部に、UV光を照射するUV光照射部を備えていることを特徴とする所望幅の感光性ドライフィルムレジスト原反ロール作製装置。

IPC (2件)：

G03F 7/004 512 , H05K 3/06

FI (2件)：

G03F 7/004 512 , H05K 3/06 J

Fターム (14件)：

2H025AA00 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC31 , 2H025BJ10 , 2H025DA03 , 2H025EA10 , 5E339CC01 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339EE10

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