特許
J-GLOBAL ID：200903077319309622
半田ボールの搭載装置および搭載方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272158
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097218
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 供給部に備えられた半田ボールをピックアップヘッドの下面の吸着孔に真空吸着してピックアップし、基板に搭載する半田ボールの搭載装置において、ピックアップミスや搭載ミスの有無を簡単確実に検出できる半田ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。【構成】 ピックアップヘッド11を基板へ移動させながら、ライン光源42からピックアップヘッド11へ光を照射する。光センサで漏光が検出されたならば半田ボールを真空吸着していない吸着孔が存在し、ピックアップミス有と判定する。またピックアップヘッド11が基板から半田ボールの供給部へ復帰する際に、発光素子45からピックアップヘッド11の下面に沿うように光を照射し、受光素子46に入光しなければ吸着孔に半田ボールが付着しており、基板への搭載ミス有と判定する。
請求項（抜粋）：
半田ボールの供給部に備えられた半田ボールをピックアップヘッドの下面に複数個形成された吸着孔に真空吸着してピックアップしワークに搭載する半田ボールの搭載装置であって、前記ピックアップヘッドが下面に複数の吸着孔が形成された暗箱から構成され、この暗箱内に前記吸着孔から漏光した光を検出する光検出手段を設けるとともに、前記ピックアップヘッドの移動路に、前記下面へ向って光を照射する発光器を設けたことを特徴とする半田ボールの搭載装置。
IPC (2件)：
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
