特許
J-GLOBAL ID：200903077350135381
エンコーダー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167679
出願日： 1988年05月10日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 ノイズ光を除去し、高精度の移動情報が検出できるエンコーダーを得ること。【構成】 可干渉光束を回折格子に入射させ、該回折格子からの回折光より干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより前記回折格子の移動状態を測定するエンコーダーにおいて、前記可干渉性光束を偏光ビームスプリッターで2光束に分割し、該2光束の各々を入射光に対する進相軸を互いに同一方向に配置した1/4波長板を介して前記回折格子に相異なる方向から入射させ、前記回折格子からの該2光束の各々の回折光を前記1/4波長板を介して偏光ビームスプリッターへ逆行させ、偏光ビームスプリッターによって該2光束の回折光を重ね合わせることによって干渉光を形成し、該干渉光を光電変換すること。
請求項（抜粋）：
可干渉光束を回折格子に入射させ、該回折格子からの回折光より干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することにより前記回折格子の移動状態を測定するエンコーダにおいて、前記可干渉性光束を偏光ビームスプリッターで2光束に分割し、該2光束の各々を入射光に対する進相軸を互いに同一方向に配置した1/4波長板を介して前記回折格子に相異なる方向から入射させ、前記回折格子からの該2光束の各々の回折光を前記1/4波長板を介して偏光ビームスプリッターへ逆行させ、偏光ビームスプリッターによって該2光束の回折光を重ね合わせることによって干渉光を形成し、該干渉光を光電変換することを特徴とするエンコーダー。
引用特許：
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