特許

J-GLOBAL ID：200903077355504369

ダミーウェハ及びその製造方法

発明者： 若田 昌志 ,  佐竹 厚則 ,  須田 吉久
出願人/特許権者： 三菱鉛筆株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080284
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272910
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】【課題】 反りが少なく、純度の高いダミーウェハを製造する。【解決手段】 液状樹脂を出発原料として複数枚のBステージフィルムを作成し、それらを貼り合わせ、加熱硬化させ、真空中で焼成する。

請求項（抜粋）：

ガラス状炭素からなるダミーウェハにおいて、複数の層で構成される事を特徴とするダミーウェハ。

IPC (3件)：

C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

C01B 31/02 101 A ,  H01L 21/02 B ,  C04B 35/52 F

Fターム (8件)：

4G032AA07 ,  4G032BA04 ,  4G032GA12 ,  4G046CA04 ,  4G046CB06 ,  4G046CC01 ,  4G046CC02 ,  4G046CC03