超音波モータを用いたアクチュエータ

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：牧克次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168359
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338561
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】低速高トルクの超音波モータを用いて小型で安価なバルブ開閉用のアクチュエータを提供する。【構成】仕切弁50のバルブケース50aの上部に設けられた凹部50bに、アクチュエータ1のケーシング2の下面に係止された略筒状の支持部材9の下部が取り付けられるとともに、支持部材9やケーシング2に弁軸51が通されて、いる。また、ケーシング2の内部には、その上下位置に複数の超音波モータ3が配置されているとともに、軸方向の移動が規制された略筒状の動力軸5と各超音波モータ3とが、大径の外歯歯車6と超音波モータ3の小径歯車7とで構成された減速ギヤ構造を介して歯車結合されており、ケーシング2の下面から突出させられた動力軸5の下部内周の環状突部30の内周面に設けられたネジ溝30aに、弁軸51の上部のネジ部51aをねじ込んで互いに連結して、軸の回転運動を軸方向の往復運動に変換する駆動力伝達手段を構成している。

請求項（抜粋）：

バルブの開閉を行なうアクチュエータであって、ステータの下面に接着された圧電体によりステータに進行波を生じさせ、ステータに圧接したロータをステータの進行波により駆動して回転させるようにした超音波モータがケーシング内に複数個設けられているとともに、ケーシングがバルブケースに係止され、各超音波モータのロータに連結された出力軸とケーシングに保持された動力軸とが減速ギヤ構造で歯車結合され、弁体に接続された弁軸が、軸の回転を軸方向の移動に変換する駆動力伝達手段を介して前記動力軸に連結されていることを特徴とする超音波モータを用いたアクチュエータ。

IPC (3件)：

F16K 31/53 , H02K 7/06 , H02N 2/00

FI (3件)：

F16K 31/53 , H02K 7/06 A , H02N 2/00 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平2-052150
特開平3-096776
特開平3-164075

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