特許
J-GLOBAL ID：200903077364492551
電子線照射処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-105543
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302499
出願日： 2002年04月08日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 ヒータ等の電力駆動部に電力を供給するための電力供給線をチャンバー内に導入したことによって生ずるチャンバー内の異常プラズマの発生を抑制し、電子線管から出射される電子線量を正確に測定することを可能にした電子線照射処理装置を提供すること。【解決手段】 交流電源111からチャンバー10内の電力駆動部119に電力を供給し、電子線管1からチャンバー10内に出射される電子線によって被処理物13を照射処理し、出射される電子線の一部を検出して電子線管1から出射される電子線を制御7,8,9,2,3,101する電子線照射処理装置において、交流電源111からシールドトランス114を介して電力駆動部119に電力を供給するようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
交流電源からチャンバー内の電力稼動部に電力を供給し、電子線管からチャンバー内に出射される電子線によって被処理物を照射処理し、出射される電子線の一部を検出して前記電子線管から出射される電子線を制御する電子線照射処理装置において、前記交流電源からシールドトランスを介して前記電力稼動部に電力を供給するようにしたことを特徴とする電子線照射処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G21K 5/04 C
, G21K 5/04 E
, C23C 14/30 B
