特許
J-GLOBAL ID:200903077366233669

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 尚 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-366194
公開番号(公開出願番号):特開2003-165216
出願日: 2001年11月30日
公開日(公表日): 2003年06月10日
要約:
【要約】【課題】 深さ方向の精度が高い圧力室を有し、取り扱いのし易いキャビティプレートを備えたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッド30を形成するキャビティプレート15は、異なる材料の第1の層15aと第2の層15bとが一体となったクラッド材16と、マニホールドプレート15cとが上下に積層されて構成されており、第1の層15aには圧力室18が、第2の層15bには連通孔34,35がそれぞれエッチングによって形成されている。第1の層15a及び第2の層15bには、それぞれ一方の層のみをエッチング可能なエッチング液によるエッチングで圧力室18及び連通孔34,35が各々個別に形成されるので、深さ方向精度が高い圧力室18及び連通孔34,35を形成することができる。
請求項(抜粋):
駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第1の層及び第2の層を一体に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティプレートとが、前記第1の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように重ね合わされて接合されたインクジェットヘッドであって、前記キャビティプレートを構成するクラッド材の第1の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室が形成され、前記第1の層を挟んで前記アクチュエータプレートの反対側に位置する前記第2の層には、前記各圧力室と連通した複数の第1の連通孔が形成されており、前記第1の層と第2の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、前記一方の層をエッチング可能な第1のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第1の連通孔との何れか一方が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (11件):
2C057AF93 ,  2C057AG48 ,  2C057AG77 ,  2C057AP02 ,  2C057AP23 ,  2C057AP25 ,  2C057AP33 ,  2C057AQ03 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

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