特許

J-GLOBAL ID：200903077377393234

モノリシックレーザアレイ

発明者： トマス エル.パオリ
出願人/特許権者： ゼロックス コーポレイション
代理人 (1件)： 中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-073634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326420
出願日： 1994年04月12日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 熱的、電気的、且つ光学的に少ないクロストークを有する、2つ以上のわずかだけ離間された独立してアドレス可能な半導体レーザのモノリシックアレイを提供する。【構成】 分離溝46は、隣合うレーザ素子12a、12bの間に形成され、プレーナアクティブ多層導波管上のメサ(台形)をエッチングすることによって生成される、導波管を装填したリブ40a、40bによって画定される。リブ40a、40bとの別々の電気接続、及び、基板20との共通の電気接続は、レーザ素子12a、12bの各々を個々にアドレス可能にする。

請求項（抜粋）：

モノリシックレーザアレイであって、第1及び第2表面を有する半導体基板と、前記基板の前記第1表面上にあると共に、前記基板とは反対側の第3表面を有する多層構造体であって、前記基板と同じ導電形を有する第1の半導体拘束層と、反対の導電形を有する第2の半導体拘束層と、を含み、更に、前記第1及び第2の半導体拘束層間に介在するとともに、前記第1及び第2の半導体拘束層よりも小さなバンドギャップを有するレイジング光を生成及び伝播するためのアクティブ半導体層を含む、前記多層構造体と、前記多層構造体の少なくとも1つの層中の複数の横方向の光導波路と、前記複数の横方向の光導波路の内の少なくとも2つのための光学共振器と、前記第3表面上の複数のアドレス電極であって、各々が前記光導波路の1つと対応される前記複数のアドレス電極と、前記第3表面から前記アクティブ層を介して延出する、前記光導波路の内の2つの間にある分離溝と、前記基板の前記第2の表面上の共通電極であって、前記アドレス電極の各々に対応される光導波路を介して電流の流れを可能にするように、前記アドレス電極の各々と共働する前記共通電極と、マウント表面を有するパッケージであって、前記半導体基板の第1表面が前記マウント表面に取り付けられている、前記パッケージと、を備えるモノリシックレーザアレイ。

IPC (2件)：

H01S 3/18 ,  H01S 3/25

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-007588
  
• 特開平2-260482
  
• 特開昭54-006789
  
• 特開昭59-204292